制氮机整个系统要求无泄露，特别是氮气系统，必须严格检查，尽可能减少泄露，否则就会影响极其的产氮率。重点检查制氮机的空压机、冷干机、电池阀以及其它阀门的情况。

一旦发现以上几个设备出现损坏，必须按照设备零部件的要求进行修理或者更改，在安装的时候需要再进行检查，防止装反。各种阀门及设备部件使用中严禁油质润滑剂，防止污染分子筛。

深冷空分制氮是一种传统的制氮方法，已有近几十年的历史。它是以空气为原料，经过压缩、净化，再利用热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同(在1大气压下，前者的沸点为-183℃，后者的为-196℃)，通过液空的精馏，使它们分离来获得氮气。